(1) PVD-ийн өмнөх эмчилгээ, үүнд эд зүйлсийг цэвэрлэх, урьдчилан боловсруулах.Цэвэрлэх тусгай аргууд нь угаалгын нунтаг цэвэрлэх, химийн уусгагчаар цэвэрлэх, хэт авианы цэвэрлэгээ, ионы бөмбөгдөлтөөр цэвэрлэх зэрэг орно.(2) Тэднийг зууханд хийж, вакуум камерын цэвэрлэгээ, бэхэлгээ, суурилуулалт ...
Цааш унших