(1) PVD-ийн өмнөх эмчилгээ, үүнд эд зүйлсийг цэвэрлэх, урьдчилан боловсруулах.Цэвэрлэх тусгай аргууд нь угаалгын нунтаг цэвэрлэх, химийн уусгагчаар цэвэрлэх, хэт авианы цэвэрлэгээ, ионы бөмбөгдөлтөөр цэвэрлэх зэрэг орно.(2) Тэдгээрийг зууханд хийж, вакуум камерын цэвэрлэгээ, бэхэлгээ, суурилуулалт ...
Цааш унших