JKL PVD бүрэх үндсэн процесс

(1) PVD-ийн өмнөх эмчилгээ, үүнд эд зүйлсийг цэвэрлэх, урьдчилан боловсруулах.Цэвэрлэх тусгай аргууд нь угаалгын нунтаг цэвэрлэх, химийн уусгагчаар цэвэрлэх, хэт авианы цэвэрлэгээ, ионы бөмбөгдөлтөөр цэвэрлэх зэрэг орно.
(2) Вакуум камерын цэвэрлэгээ, бэхэлгээ, эд зүйл, бэхэлгээг суурилуулах, ашиглалтад оруулах, холбох зэрэг зууханд хийнэ.
(3) Сорох, ерөнхийдөө 6.6Па ба түүнээс дээш хүртэл шахах үед вакуум насосыг хадгалах, диффузын насосыг халаахын тулд диффузын насосны урд хэсгийг эрт онгойлгоно.Урьдчилан халаахад хангалттай бол өндөр хавхлага нээгдэж, диффузын насосоор 6 х 10-3 Па хагас ёроолын вакуум руу шахагдана.
(4) Эд зүйлсийг хүссэн температурт жигнэх, жигнэх.
(5) Ионы бөмбөгдөлт, вакуум нь ерөнхийдөө 10 Па-аас 10-1 Па, ионы бөмбөгдөлт нь сөрөг өндөр хүчдэлийн 200 В-оос 1 КВ, довтолгооны хугацаа 15 минутаас 30 минут байна.
(6) Урьдчилан хайлуулах, материалыг урьдчилан хайлуулах гүйдлийг тохируулах, өнгөлгөөг урьдчилан хайлуулах гүйдлийг тохируулах, 1мин ~ 2минутын турш хийгүйжүүлэх.Ууршуулах хуримтлал.Хүссэн хуримтлуулах хугацаа дуусах хүртэл ууршилтын гүйдлийг шаардлагатай бол тохируулна.Хөргөх, эд зүйлсийг вакуум камерт тодорхой температурт хөргөнө.
(7) Эд зүйлсийг гаргаж авсны дараа вакуум камерыг хааж, вакуумыг l × l0-1Pa хүртэл нүүлгэн шилжүүлж, засвар үйлчилгээний насос болон хөргөлтийн усыг унтраахын өмнө диффузын насосыг зөвшөөрөгдөх температурт хөргөнө.
 


Шуудангийн цаг: 2021 оны 9-р сарын 07